西安弈斯偉硅片項目一期主要新建12英寸（300毫米）集成電路用硅單晶拋光片和外延片，建設(shè)內(nèi)容包括生產(chǎn)廠房、拉晶廠房、綜合動力廠房、廢水處理站、固廢站、氣體庫、化學(xué)品庫、大宗氣站、門衛(wèi)等建筑。

本工程的生產(chǎn)特點

主要生產(chǎn)過程在封閉的一定溫度、濕度以及潔凈度的空間中進行，每周工作7天、每天24小時連續(xù)生產(chǎn)，自動化程度高，維持生產(chǎn)需要多種氣體、化學(xué)品、水系統(tǒng)等支持。對用電質(zhì)量穩(wěn)定性及可靠性要求較高，一旦因電力問題發(fā)生導(dǎo)致連續(xù)生產(chǎn)被打亂，需要較長時間才能恢復(fù)。

負載分析

本項目需要進行諧波治理為加熱爐負載，加熱爐工作時會產(chǎn)生大量諧波電流，產(chǎn)生的諧波不僅影響到自身設(shè)備的正常工作，而且會注入到電網(wǎng)中影響公共連接點所連接的其他支路的負荷，給系統(tǒng)帶來嚴重的電能質(zhì)量問題，不利于供電設(shè)備的安全運行。

諧波特點及危害

半導(dǎo)體行業(yè)的3次諧波非常嚴重，主要是由于生產(chǎn)中使用了大量的單相整流設(shè)備。3次諧波屬于零序諧波，具備在中性線匯集的特點，導(dǎo)致中性線壓力過大，會出現(xiàn)打火現(xiàn)象，存在著生產(chǎn)安全隱患。諧波還會造成斷路器跳閘，耽誤生產(chǎn)時間。3次諧波在變壓器內(nèi)形成環(huán)流，加速了變壓器的老化。嚴重的諧波污染對配電系統(tǒng)中的設(shè)備使用效率和壽命造成影響。

解決方案

針對本項目低壓供電系統(tǒng)，每套加熱爐就地增加BW-APF有源濾波裝置，進行諧波治理，可有效保證供電質(zhì)量。

治理效果

本項目生產(chǎn)線配置東方博沃有源濾波裝置APF，有效補償了負載運行產(chǎn)生的各特征次諧波，消除諧波對生產(chǎn)環(huán)節(jié)的影響，保證用電設(shè)備的安全運行，提高配電系統(tǒng)的穩(wěn)定性，提高變壓器的帶負載能力，節(jié)約設(shè)備更替的投資。